연세대 심우영 교수팀 연구 결과 ‘네이처 커뮤니케이션즈지’ 게재연세대학교(총장 서승환) 심우영 교수(신소재공학과) 연구팀의 기존 포토마스크의 한계를 극복한 새로운 포토리소그래피(Photolithography) 기술 개발에 관한 연구 결과가 12일 세계적인 과학저널 네이처커뮤니케이션즈(Nature Communications) 최신호에 게재됐다. 기존의 노광장비와 새로운 소프트마스크로 고해상도 구현을 위한 수십 나노미터(nm) 크기의 패턴을 쉽게 구현할 수..
