하이닉스반도체 청주 M11 공장
이날 오후 2시 25분께 하이닉스 청주공장 M11라인 3층 클린룸에서 감광액(PR) 1ℓ가 누출됐다. 다행히도 인명 피해는 없었다. 이 공장에서는 지난 22일에도 소량의 염소가 누출돼 직원들이 대피하는 소동을 빚었었다.
이번에 누출된 감광액은 반도체 제조 때 원판 표면에 미세한 회로를 그리기 위해 빛을 이용하는 공정에 쓰이는 액체다. 이 액체는 고위험군에 포함되지 않지만 유해화학물질로 분류된다고 사건 담당인 청주 흥덕경찰서는 밝혔다.
이날 사고는 직원(27)이 1ℓ 단위로 포장돼 있는 감광액 유리병을 냉장시설에서 꺼내다가 바닥에 떨어뜨려 발생했다. 하이닉스 측은 감광액을 자체 처리한 뒤 40분 뒤인 오후 2시 54분께 소방당국에 신고했다.
이에 소방당국은 펌프차 2대와 구급차 등 차량 3대를 보내 상황 수습에 나섰고 경찰은 누출된 화학물질의 성분 파악에 나서는 한편 정확한 사고 경위와 피해 상황 등을 조사 중이다.